Тетрафторметан
ТУ 301-14-78-920 с изменениями 1-4
Химическая формула: CF4
Внешние характеристики бесцветный газ, малотоксичен, химически инертен.
Технические требования и характеристики:
- Объемная доля основного вещества, %, не менее – 99,2
- Суммарная объемная доля низкокипящих примесей (азот+кислород, оксид углерода), %, не более – 0,7
- Суммарная объемная доля высококипящих примесей (гексафторэтан,диоксид углерода)), %, не более – 0,1
- Массовая доля воды, % не более – 0,001
- Температура кипения, °С – минус 128
Критические параметры:
- температура – минус 45,65°С,
- давление – 3,74 МПа,
- плотность – 625 кг/м3.
Характеристика пожароопасности: негорюч, взрывобезопасен.
Применение: для плазмохимического травления диэлектриков при изготовлении интегральных схем. В качестве хладагента, ингибитора пламени, стабилизатора разложения азона, разбавителя при проведении химических реакций, реагента для получения фторорганических продуктов, а также для приготовления дыхательных смесей при глубоководном погружении.
